唯光刻機(jī)論在海外有市場(chǎng)嗎?專家：成本占比遠(yuǎn)超20%

提到芯片制造，很多人都會(huì)第一時(shí)間想到光刻機(jī)，特別是EUV光刻機(jī)，畢竟全球只有荷蘭ASML一家公司能生產(chǎn)，美國(guó)自己也無(wú)法生產(chǎn)。

在這些人的觀念里，光刻機(jī)就好像是飛機(jī)、軍艦中的發(fā)動(dòng)機(jī)一樣，只要沒有ASML的光刻機(jī)甚至EUV光刻機(jī)，就沒法制造半導(dǎo)體芯片一樣。

不僅是國(guó)內(nèi)的網(wǎng)友這么認(rèn)為，唯光刻機(jī)論在海外也很有市場(chǎng)，似乎大部分網(wǎng)友都是這樣想的，已經(jīng)到了神化ASML的地步了，只要提到芯片制造就會(huì)強(qiáng)調(diào)光刻機(jī)會(huì)卡脖子，而有了光刻機(jī)，臺(tái)積電這樣的公司就能隨便復(fù)制一樣。

但在業(yè)內(nèi)人士來(lái)看，這種觀念顯然是不合理的，專業(yè)半導(dǎo)體網(wǎng)站的專家dylan522p解釋說(shuō)，以成本來(lái)算，ASML的光刻機(jī)只占了半導(dǎo)體制造的20%，他們甚至不是業(yè)界最大的裝備公司，AMAT應(yīng)用材料才是。

哪怕是EUV光刻機(jī)，它也不(直接)制造出芯片，而是曝光了光刻膠并圖案化，芯片是其他設(shè)備制造的，比如沉積、蝕刻、清潔、拋光、外延及離子注入等環(huán)節(jié)。

當(dāng)然，他這個(gè)說(shuō)法也有不少人不認(rèn)同，不過(guò)大體上來(lái)說(shuō)沒錯(cuò)，在不同的制造中光刻機(jī)的占比不同，越是先進(jìn)的工藝中EUV光刻機(jī)越重要，成本占比也會(huì)遠(yuǎn)超20%，因?yàn)橐霉饪虣C(jī)多重曝光。

如果是內(nèi)存或者閃存芯片制造，可能比光刻機(jī)更重要的是極高深寬比的蝕刻機(jī)，在這方面美國(guó)應(yīng)用材料、KLA等公司要比ASML更卡脖子。

好消息是，國(guó)內(nèi)的公司在蝕刻機(jī)這方面的進(jìn)展比光刻機(jī)還要迅速，已經(jīng)有不少重要突破了。