目前信越化學(xué)KrF光刻膠產(chǎn)能不足，我國多家晶圓廠KrF光刻膠供應(yīng)緊張，部分中小晶圓廠甚至遭遇了斷供，多家晶圓廠在加速驗(yàn)證導(dǎo)入本土KrF光刻膠。

今年以來，除了臺積電、三星、英特爾、聯(lián)電等晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等本土晶圓廠也積極擴(kuò)產(chǎn)和釋放產(chǎn)能，這導(dǎo)致國內(nèi)光刻膠需求量大增，尤其是在KrF、ArF等高端光刻膠。光大證券趙乃迪認(rèn)為，國內(nèi)光刻膠企業(yè)正不斷加快高端產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)度，我國半導(dǎo)體材料還存在著很大的提升空間。

彤程新材(603650)是目前國內(nèi)唯一能夠供應(yīng)KrF光刻膠的廠商;

晶瑞股份(300655)的KrF光刻膠已經(jīng)完成中試，正進(jìn)入客戶測試階段。

關(guān)鍵詞： KrF 光刻膠 晶圓廠 產(chǎn)能不足